一、环境逝世的高活动条目少女 自慰

空气洁净度等第

中枢光刻区需达到ISO 1级活动（每立方米≥0.1μm粒子数≤10个）

一般加工区看守ISO 3级活动（≥0.5μm粒子数≤1000个/m³）

取舍ULPA超高效过滤器（U15级，过滤成果≥99.9995%）

温湿度精密逝世

温度逝世精度±0.1℃（22±0.1℃恒温系统）

相对湿度逝世±1%RH（45%±1%RH）

取舍三级制冷系统（冷水机组+精密空调+FFU温控模块）

二、相当建筑结构条目

防微振接头

中枢开荒区振动逝世VC-D级（1-80Hz频段≤1.5μm/s）

取舍弹簧隔振基础+气浮平台双重减振

建筑结构振动传递牺牲≥30dB

电磁屏蔽系统

射频屏蔽效劳≥80dB（1MHz-10GHz）

接地系统阻抗≤0.5Ω

取舍铜网屏蔽室+波导透风窗接头

三、超纯介质供应系统

超纯水系统

水质活动：电阻率≥18.2MΩ·cm，TOC≤1ppb

取舍双级RO+EDI+UV氧化+结尾过滤工艺

管谈系统：316L EP级不锈钢，电抛光处理（Ra≤0.25μm）

特种气体系统

气体纯度：电子级（99.9999%以上）

输配系统：双套管检漏接头，VCR面密封荟萃

设立在线纯度分析仪（ppb级检测精度）

四、能耗与智能化处置

节能接头

热回收系统（热回收率≥70%）

变频逝世系统（风机能耗裁减40%）

取舍LED洁净照明（能耗较传统灯具低60%）

智能监控系统

及时监测2000+个数据点（包括粒子计数、分子欺侮等）

大数据分析臆想开荒景仰周期

数字孪生时期杀青诬捏调试

黑皮猪

五、相当驻扎措施

防静电系统

大地电阻1×10^6~1×10^9Ω

职责服名义电阻≤1×10^10Ω

离子风机消散率100%

化学欺侮逝世

AMC（气态分子欺侮）逝世：酸、碱、碳氢化合物均<1μg/m³

化学过滤器成果≥95%

废气处理系统去除率≥99%

集成电路制造无尘车间缔造周期时时需18-24个月，单元面积造价达3-5万元/㎡。需通过SEMI S2/S8认证少女 自慰，并建立严格的变更逝世法子。跟着制程投入3nm以下节点，环境逝世正向分子级洁净度想法发展，这对车间缔造建议了更高条目。